DLCコーティングキャリア
特許登録： Patent No. 10-0773486 (Oct. 30, 2007)
精度・耐久性・表面品質、すべてを極めた次世代キャリア
DLCコーティング卓越した表面品質と剛性を両立
優れた構造と素材選定
スチールボディー： 使用環境に応じてを選択可能。
▶ 高耐食のステンレス
▶ 高剛性のカーボンスチール
インサート材質：アラミド
軽量かつ高強度。耐熱性にも優れ、スチールボディーとの高い接合力で安定性抜群。
DLC特性
金属汚染 ：無し
高硬度： 175HRC（HRC35.5=Hv350)
摩擦係数：0.058
コーティング厚さ： 1.5㎛
限界荷重(密着強度）： 20.5N
長寿命設計でランニングコストを削減
高耐薬品性・耐摩耗性でクリーンな工程にも最適
Titanium / チタンキャリア
圧倒的な強度と寿命性能
卓越した耐久性 × ハイパフォーマンス設計
超高硬度ボディ長期使用に耐える構造
超耐摩耗性・高耐腐食性
→ 過酷な環境下でも長期間パフォーマンスを維持
→長寿命でトータルコストを最小化
高性能インサート材（アラミド,ポリウレタン,POM）
・高硬度 × 高耐熱
・スチールボディーとの高い接合強度で安定性抜群。
独自構造による優位性
最低コストを実現
長寿命＋高歩留まりで、トータルコストを劇的に削減。
反りを最小限へ
設計から素材まで歪みを抑え、フラットネスを徹底管理。
ウェハーホール内での自由な自転を実現
ウェハーの自律的な動きを可能にし、プロセス精度をさらに高めます。
Stainless Chrome / クロムステンレスキャリア
圧倒的な強度と寿命性能
卓越した耐久性 × ハイパフォーマンス設計
超高硬度ボディ長期使用に耐える構造
超耐摩耗性・高耐腐食性
→ 過酷な環境下でも長期間パフォーマンスを維持
→長寿命でトータルコストを最小化
高性能インサート材（アラミド,ポリウレタン,POM）
・高硬度 × 高耐熱
・スチールボディーとの高い接合強度で安定性抜群。
独自構造による優位性
最低コストを実現
長寿命＋高歩留まりで、トータルコストを劇的に削減。
反りを最小限へ
設計から素材まで歪みを抑え、フラットネスを徹底管理。
ウェハーホール内での自由な自転を実現
ウェハーの自律的な動きを可能にし、プロセス精度をさらに高めます。
Epoxy Glass / ガラスエポキシキャリア
優れた性能と安心の品質
低コストで高性能
無駄を省きつつ、パフォーマンスを最大化。
高い耐久性 × 長寿命設計により、トータルコストを大幅に削減します。
金属汚染フリー構造
金属コンタミネーションの心配ゼロ。
クリーンなプロセス環境に対応し、信頼性を大きく向上。
圧倒的な精度管理
厚さバラツキ：5μm以下
反り：15μm以下
高度な加工・設計技術により、業界トップレベルの精度を実現。
微細なプロセスにも、安定したパフォーマンスで貢献します
Aramid Epoxy/アラミドエポキシキャリア
高歩留りを支えるマテリアル設計
無機繊維（ガラスファイバー）不使用
→ コンタミネーションのリスクを排除
ポリアミド（ナイロン）＋有機繊維
→ 高い柔軟性・高曲げ弾性率を両立
→ 曲げ・衝撃に強く、形状維持性◎
高い耐摩耗性／長寿命設計
ギア部の高い機械的強度
低キズ発生率
→ ウェハーへのダメージを最小限に抑制
高いエッジ品質
→ 処理精度を向上、工程の安定性に貢献
小さな厚さバラツキ・反り
→ 高精度な加工プロセスに対応
