DSPキャリア

• 低コスト
•  金属汚染の心配がありません
• 厚さバラツキ：5㎛以下
• 反り：15㎛以下

低いキズの発生率＝高歩留り
           無機繊維（ガラスファイバー）を含んでいません
● ポリアミド（ナイロン）
● 有機繊維
● 高い曲げ弾性率
         --> 高いエッジ品質が保証されます
● 高い耐摩耗性
● 長寿命/高いギア部の機機械的強度
● 金属汚染フリー
● 小さい厚さバラツキ・反り

長寿命
● 高張力ステンレス鋼材　＋　ポリマー樹脂で構成
        インサート材質：アラミド, ポリウレタン,POM ,PBT, PU + POM
● スムースなウェハー自転（ホール内）
● 極限化した柔軟な素材
　高いウェハーエッジ品質
● 高耐摩耗性
　　重金属汚染： Ni, Cu ----> 「低レベル」
　　厚さ・反り・・・最小厚さバラツキ：厚さ±1μｍ(UHPモデル）
● 最大 450㎜ウェハ対応

構造
　● DLCコーティング： : 高剛性　＋　高い平滑性
　● スチールボディー：　ステンレス　又は　カーボンスチール
　● インサート：　アラミド
 DLC　物性特性
　● 金属汚染　：無し
　● 高硬度：　175HRC　　（HRC35.5=Hv350)
　● 摩擦係数：　 0.058
　● コーティング厚さ：　1.5㎛
　● 限界荷重(密着強度）：　 20.5N
　● 特許登録：　 Patent No. 10-0773486 (Oct. 30, 2007)

● 超高硬度キャリア
● 超耐圧性　＋　超抗張力
      金属汚染フリー
     インサート材質：アラミド, ポリウレタン,POM , PBT, PU + POM
● スムースなウェハー自転（ホール内）
● 極限化した柔軟な素材
        高いウェハーエッジ品質
● 超耐摩耗性
       高耐腐食性
     小さい厚さバラツキ・反り